实验室介绍

上海市纳米科技与产业发展促进中心纳米核心技术实验室成立于2005年，旨在建立面向工业应用的核心技术服务平台，促进成果转化和产学研对接。近年来，实验室聚焦于上海重大科技战略，在开展前沿研究的同时，还为广大的企业和研究院所提供专业技术服务，推动创新。

纳米核心技术实验室在国内率先开展以紫外纳米压印工艺为核心的纳米结构加工技术研究，并推动其在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术以及生命科学等领域的研究开发，使研究工作一直站在国际这一领域的前沿。除配备场发射扫描电子显微镜（HITACHI S4800）、原子力显微镜（Veeco DI3100）、光学显微镜（Leica）和台阶仪（Dektak150）等一系列高端的纳米表征和检测硬件，还拥有整套世界先进的纳米级加工技术。屡次承担国家和上海市的重点课题的研究工作：如采用紫外纳米压印技术制作高密度的相变存储器件，成功的利用纳米压印技术和传统IC工艺集成，构筑相变存储器：利用纳米压印技术制作光子晶体LED，提高了现有GaN发光二级管产品的性能。并成功实现了与企业现有工艺的无缝链接，在不影响现有工艺流程的基础上，成功的提高了LED的出光效率，并研制出出光效率达到在国内处于领先地位的大功率LED芯片，提升了本土企业自主创新力和产品竞争力。

纳米核心技术实验室的科研团队年轻而又经验丰富，既有从世界一流研究机构引进回国的高级专家，保证了纳米加工核心工艺的实现，又有一直在国内从事纳米半导体材料和纳米器件加工技术研究的组员，具有丰富的纳米加工技术方面的经验，作为技术骨干参加过多项国家和省部级的重点项目的研究工作。经过几年的积累，实验室获得多项有关纳米压印方面的重要创新和发明，申请十多个专利，在纳米加工国际权威杂志上发表相关文章20余篇，其中两篇论文还被相关搜索引擎评为其专业领域内十大最佳论文第一名。在国际国内率先出版了有关纳米压印技术的专著。同时依托于与中科院微系统所联合设置的博士后工作站，不断的引进高素质研究人员，推动纳米压印技术在各个领域的开发及应用化研究。

实验室介绍

服务范围

1、压印服务

2、检测服务

3、技术咨询