2017年上海相变存储器科技与产业发展研讨会顺利举行
为了提升上海纳米科技的创新能力，提高上海纳米科技对战略性新兴产业的支撑作用，促进转型发展，由上海市纳米科技与产业发展促进中心、上海市纳米技术协会、上海市真空学会和中科院上海微系统所主办的“2017年上海相变存储器科技与产业发展研讨会”于2017年4日20日在上海市纳米科技与产业发展促进中心举行，会议由中科院上海微系统所宋志棠研究员主持。
微系统所宋志棠研究员作了题为“高密度交叉阵列结构的新型存储器件与集成”的主题报告,介绍了相变存储技术发展的现状及需求，认为存储器技术发展将由控制电荷的电容式向控制阻变分子式转变，新型存储器在中国将具有较大的市场竞争力。复旦大学江安全教授作了题为“高密度铁电存储器”的专题报告，介绍了铁电存储器现状以及高密度铁电存储器的集成方案，并对其技术发展进行展望。复旦大学孙清清教授作了题为“三维可集成隧道结存储器”的专题报告，介绍了隧道结存储器的机理及挑战，对CMO、HZO两种工艺制备的隧道结存储器技术进行比较分析。中科院上海微系统所刘卫丽研究员作了题为“电子级二氧化硅纳米新材料及原子级表面抛光应用关键技术”的专题报告，介绍了高纯离子交换万吨生产的SiO2新方法、以蓝宝石为代表的硬脆性材料高效平坦化技术、以金属和金属间化合物为代表的多组元多相柔塑性材料平坦化技术。
与会代表在专题报告结束后进行了热烈的研讨和交流，畅谈了存储器及其相关产业的发展趋势并交流了研究中存在的问题与合作前景。
