2017年上海等离子体纳米技术产业发展研讨会顺利召开

为了提升上海纳米科技的创新能力，提高上海石墨烯科技对战略性新兴产业的支撑作用，促进转型发展，上海市纳米科技与产业发展促进中心与东华大学于2017年12月8日在东华大学延安西路校区旭日楼举办“2017年上海等离子体纳米技术产业发展研讨会”。研讨会得到了中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、上海市纳米技术协会等单位的支持。研讨会由东华大学张菁教授担任主席，上海市纳米科技与产业发展中心费立诚副主任在大会开幕式上作重要讲话，对等离子体技术的发展提出希望。来自高校、科研院所、企业的近50名参会代表出席并参与了大会专题研讨。

北京大学郑捷副教授作了关于“纳米结构储能材料的等离子体合成与性能研究”的报告。中微半导体万磊博士带来报告关于“浅谈等离子体技术在半导体刻蚀领域中的应用”。上海交通大学钟晓霞教授探讨了“常压微等离子体辅助液相合成荧光碳纳米颗粒及其应用研究”的问题。东华大学吴良才研究员作了关于 “纳米硫系化合物半导体薄膜与器件制备及其物理特性”的报告。东华大学张菁教授作了关于“微纳米结构薄膜的等离子体制备技术与应用”的报告。中科院等离子体物理研究所孟月东研究员与中国科学技术大学夏维东教授也发表各自观点。各位专家从基础研究、产业化应用和工艺及装备制造等多角度对等离子体科技的发展现状、存在问题和未来的发展趋势做了5个专题报告，与会代表在专题报告结束后对等离子体科技与产业的发展趋势和存在的问题进行了热烈的研讨和交流。

本次会议交流了等离子体科技与产业的最新进展与成果，凝练发展目标与方向，为布局下一阶段上海等离子体纳米科技与产业发展提供了依据。